Το Target Sputtering, ως η βασική τεχνολογία της επιφανειακής μηχανικής και της τεχνολογίας λεπτών φιλμ, αναφέρεται στη χρήση ιόντων ή άλλων φορτισμένων σωματιδίων για να χτυπήσει το στόχο σε κατάσταση υψηλής ενέργειας, ενεργοποιώντας έτσι τη μεταφορά κινητικής ενέργειας και τη μεταφορά υλικού των ατόμων ή μορίων-στόχων . Τα διεγερμένα άτομα ή μόρια αποσπώνται από την επιφάνεια στόχο και εναποτίθενται στο υπόστρωμα με κίνηση υψηλής ταχύτητας, σχηματίζοντας ένα λεπτό φιλμ με ομοιόμορφη ή ειδική δομή.
1. Ταξινόμηση
(1) Ψεκασμός συνεχούς ρεύματος
Αρχή: Η διασκορπισμός DC χρησιμοποιεί μια σταθερή πηγή ισχύος συνεχούς ρεύματος ως πηγή ενέργειας και είναι κυρίως κατάλληλη για στόχους με καλή αγωγιμότητα, όπως τα μέταλλα.
Χαρακτηριστικά: Έχει τα πλεονεκτήματα του απλού εξοπλισμού, της εύκολης λειτουργίας και του υψηλού ποσοστού εναπόθεσης. Αυτό δεν ισχύει για μονωτικά υλικά, καθώς δεν μπορούν να δημιουργήσουν αποτελεσματική μεταφορά φορτίου.
(2) Ψεκασμός ραδιοσυχνοτήτων
Αρχή: Η εκτόξευση ραδιοσυχνοτήτων χρησιμοποιεί ισχύ ραδιοσυχνοτήτων (συνήθως στην περιοχή MHz) έτσι ώστε τα μη αγώγιμα υλικά (όπως κεραμικά, οξείδια) να μπορούν επίσης να διασκορπιστούν.
Χαρακτηριστικά: Δυνατότητα εκτόξευσης μονωτικών υλικών με υψηλότερη ομοιομορφία εναπόθεσης. Ωστόσο, λόγω του πολύπλοκου συστήματος τροφοδοσίας και ελέγχου, το κόστος και η δυσκολία συντήρησης είναι σχετικά υψηλά.
(3) Ψεκασμός μαγνητρονίων
Αρχή: Με βάση την παραδοσιακή εκτόξευση, δημιουργείται ένα μαγνητικό πεδίο τοποθετώντας μαγνήτες κοντά στο στόχο, ενισχύοντας έτσι την πυκνότητα και τη σταθερότητα του πλάσματος.
Χαρακτηριστικά: Βελτιωμένη απόδοση ψεκασμού και ποιότητα φιλμ, μειωμένη κατανάλωση στόχου. Μπορεί να λειτουργήσει σε χαμηλότερη πίεση αέρα, μειώνοντας έτσι την επίδραση των σωματιδίων αερίου στο φιλμ.
(4) Αντιδραστικός sputtering
Αρχή: Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας εκτόξευσης, τα αντιδραστικά αέρια (όπως οξυγόνο, άζωτο) εισάγονται στην ατμόσφαιρα εργασίας για να αντιδράσουν χημικά με τα άτομα-στόχους για να σχηματίσουν ένα σύνθετο φιλμ.
Χαρακτηριστικά: Μπορεί να παρασκευαστεί μια ποικιλία σύνθετων μεμβρανών, όπως οξείδια, νιτρίδια, καρβίδια κ.λπ. Ωστόσο, ο έλεγχος είναι περίπλοκος και απαιτεί ακριβή ρύθμιση του ρυθμού ροής και της πίεσης του αντιδρώντος αερίου.
(5) Ψεκασμός μαγνητρονίων με παλμό υψηλής ισχύος
Αρχή: Χρησιμοποιήστε παλμικό τροφοδοτικό υψηλής ισχύος για να δημιουργήσετε πλάσμα υψηλής πυκνότητας για σύντομο χρονικό διάστημα για να αυξήσετε τον ρυθμό εκτόξευσης.
Χαρακτηριστικά: Μπορούν να ληφθούν πιο λείες και πυκνότερες μεμβράνες. Αλλά λόγω της υψηλής χρήσης ενέργειας, η θερμική διαχείριση και η ανθεκτικότητα της συσκευής γίνονται προκλήσεις.
2.Εφαρμογή
(1) Βιομηχανία ημιαγωγών
Η τεχνολογία Sputtering χρησιμοποιείται για την εναπόθεση αγώγιμων, μονωτικών και προστατευτικών στρωμάτων που είναι κρίσιμα για την κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων και μικροηλεκτρονικών συσκευών υψηλής απόδοσης.
(2) Οπτικές εφαρμογές
Καθρέφτες και αντιανακλαστικές επικαλύψεις: Οι λεπτές μεμβράνες που παρασκευάζονται με τεχνικές ψεκασμού μπορούν να χρησιμοποιηθούν για την κατασκευή μιας ποικιλίας οπτικών εξαρτημάτων όπως φακοί, φακοί και καθρέφτες σε συστήματα λέιζερ. Το στρώμα απορρόφησης φωτός και το αγώγιμο στρώμα στις ηλιακές κυψέλες συχνά παρασκευάζονται με ψεκασμό.
(3) Διακοσμητικό επίχρισμα
Αυτοκινητοβιομηχανίες και κατασκευαστικές βιομηχανίες: Οι διασκορπισμένες μεμβράνες χρησιμοποιούνται για διακοσμητικές επικαλύψεις σε εξαρτήματα αυτοκινήτων και δομικά υλικά, όχι μόνο παρέχοντας αισθητική εμφάνιση αλλά και αυξάνοντας τη φθορά του υλικού και την αντοχή στη διάβρωση. Τα περιβλήματα και τα διακοσμητικά μέρη των ηλεκτρονικών ειδών ευρείας κατανάλωσης, όπως τα κινητά τηλέφωνα και οι υπολογιστές, χρησιμοποιούν επίσης συχνά τεχνολογία sputtering για την επίστρωση ανθεκτικών στη φθορά και όμορφων μεμβρανών.
(4) Ειδικές λειτουργικές ταινίες
Μπορεί να εναποθέτει υψηλής σκληρότητας και ανθεκτικά στη φθορά μεμβράνες στις επιφάνειες των εργαλείων και των καλουπιών για να παρατείνει τη διάρκεια ζωής του εργαλείου. Επιπλέον, οι διασκορπισμένες μεμβράνες μπορούν να χρησιμοποιηθούν για τη ρύθμιση της μετάδοσης του φωτός στην τεχνολογία έξυπνων παραθύρων για κτίρια και αυτοκίνητα.
(5) Βιοϊατρικός τομέας
Οι βιοσυμβατές μεμβράνες εναποτίθενται γενικά με τεχνικές ψεκασμού για την ενίσχυση της συμβατότητας των τεχνητών αρθρώσεων ή των οδοντικών εμφυτευμάτων με το ανθρώπινο σώμα.
Η FANMETAL μπορεί να παρέχει στους πελάτες διάφορους στόχους επιμετάλλωσης μετάλλων, όπως στόχους αλουμινίου τιτανίου, στόχους βολφραμίου και στόχους μετάλλων χρωμίου κ.λπ.
