Ο στόχος μολυβδαινίου είναι ένας ειδικός μεταλλικός στόχος από μολυβδαίνιο, που χρησιμοποιείται κυρίως σε τομείς υψηλής τεχνολογίας. Το μολυβδαίνιο, ένα ασημί-λευκό μέταλλο, είναι γνωστό για το υψηλό σημείο τήξης και την καλή ηλεκτρική και θερμική αγωγιμότητα, που του επιτρέπουν να παραμένει σταθερό σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας ή υψηλής πίεσης. Ως εκ τούτου, οι στόχοι μολυβδαινίου διαδραματίζουν σημαντικό ρόλο στην κατασκευή ημιαγωγών, στην τεχνολογία εναπόθεσης λεπτών φιλμ, στη βιομηχανία φωτοβολταϊκών και στον ιατρικό εξοπλισμό απεικόνισης. Οι στόχοι μολυβδαινίου μπορούν να παραχθούν με θερμή ισοστατική συμπίεση (HIP), τήξη, χημική εναπόθεση ατμών (CVD) και φυσική εναπόθεση ατμών (PVD). Κάθε μέθοδος έχει τα δικά της χαρακτηριστικά και το πεδίο εφαρμογής της. Επιλέξτε την κατάλληλη τεχνολογία προετοιμασίας. Εξαρτάται από την τελική χρήση του απαιτούμενου στόχου μολυβδαινίου, την απαιτούμενη απόδοση και οικονομικούς παράγοντες.
Το συγκολλημένο υπόστρωμα χαλκού όχι μόνο βελτιώνει την απόδοση του στόχου, αλλά βοηθά επίσης στη μείωση του λειτουργικού κόστους, κάτι που είναι ιδιαίτερα σημαντικό για τις βιομηχανίες που βασίζονται σε μακροπρόθεσμες, σταθερές διαδικασίες εναπόθεσης λεπτού φιλμ. Έχει τα ακόλουθα οφέλη:
1. Βελτιώστε την απόδοση της θερμικής αγωγιμότητας: Ο χαλκός έχει εξαιρετικά υψηλή θερμική αγωγιμότητα (περίπου 400 W/m·K), η οποία είναι πολύ υψηλότερη από το μολυβδαίνιο. Η δέσμευση του στόχου μολυβδαινίου στη χάλκινη πλάκα υποστήριξης μπορεί να βελτιώσει σημαντικά τη συνολική απόδοση θερμικής αγωγιμότητας του στόχου. Κατά τη διάρκεια των διαδικασιών επίστρωσης υψηλής ταχύτητας, αυτό βοηθά στην ταχύτερη μεταφορά της θερμότητας από τον στόχο του μολυβδαινίου, αποτρέποντας έτσι την υπερθέρμανση του στόχου.
2. Μειώστε τη θερμική καταπόνηση: Κατά τη διαδικασία εναπόθεσης, η θερμική καταπόνηση στο υλικό στόχο μπορεί να προκαλέσει ρωγμές και σπασίματα. Η υψηλή θερμική αγωγιμότητα της πλάκας στήριξης χαλκού βοηθά στην ομοιόμορφη διασπορά της θερμότητας και μειώνει τη συγκέντρωση θερμικής καταπόνησης στον στόχο του μολυβδαινίου, μειώνοντας έτσι τη ζημιά που προκαλείται από τη θερμότητα.
3. Επεκτείνετε τη διάρκεια ζωής: Μειώνοντας τη θερμική καταπόνηση και βελτιώνοντας τη θερμική απόδοση, η πλάκα χαλκού μπορεί να παρατείνει σημαντικά τη διάρκεια ζωής του στόχου μολυβδαινίου. Αυτός ο συνδυασμός βοηθά στην πρόληψη της πρόωρης φθοράς ή ζημιάς του στόχου κατά τη χρήση, με αποτέλεσμα λιγότερο συχνή αντικατάσταση και χαμηλότερο μακροπρόθεσμο κόστος.
4. Βελτιώστε τη μηχανική σταθερότητα: Η προσθήκη χάλκινης πλάκας στήριξης ενισχύει επίσης τη συνολική μηχανική σταθερότητα του στόχου. Αυτό είναι ιδιαίτερα σημαντικό κατά τις διαδικασίες εναπόθεσης υψηλής ταχύτητας, καθώς βοηθά στη διατήρηση της δομικής ακεραιότητας του στόχου και στη μείωση της ζημιάς λόγω μηχανικών κραδασμών ή κραδασμών.
5. Ισχυρή προσαρμοστικότητα: Αυτή η μέθοδος δέσμευσης μπορεί να προσαρμόσει το πάχος και το σχήμα του χάλκινου οπίσθιου επιπέδου σύμφωνα με διαφορετικές απαιτήσεις εφαρμογής, παρέχοντας μεγαλύτερη ευελιξία και προσαρμοστικότητα. Αυτό επιτρέπει στους στόχους μολυβδαινίου να ανταποκρίνονται καλύτερα στις απαιτήσεις ειδικού εξοπλισμού και διαδικασιών εναπόθεσης.
