Οι στόχοι εκτόξευσης μετάλλων χρησιμοποιούνται κυρίως στη βιομηχανία ηλεκτρονικών και πληροφοριών, όπως ολοκληρωμένα κυκλώματα, αποθήκευση πληροφοριών, οθόνες LCD, μνήμες λέιζερ, ηλεκτρονικές συσκευές ελέγχου κ.λπ. μεταποιητικές βιομηχανίες και βιομηχανίες επεξεργασίας υψηλών θερμοκρασιών. , διακοσμητικά προμήθειες υψηλής ποιότητας και άλλες βιομηχανίες. Η FANMETAL έχει πολυετή εμπειρία στην παραγωγή προϊόντων μη σιδηρούχων μετάλλων και διαθέτει επίσης προηγμένο εξοπλισμό επεξεργασίας. Μπορεί να παρέχει στους πελάτες στο εσωτερικό και στο εξωτερικό υψηλής ποιότητας και οικονομικά στοχευόμενα προϊόντα μετάλλων ή κραμάτων, όπως π.χστόχους από νικέλιο, στόχοι χρωμίου, στόχοι μολυβδαινίου, στόχοι βολφραμίου,Στόχοι Sputter Titanium Aluminium,και τα λοιπά.
1.Καθαρότητα
Για όλα τα μέταλλα, η καθαρότητα είναι ένας από τους κύριους δείκτες απόδοσης του υλικού-στόχου. Η καθαρότητα του υλικού στόχου έχει μεγάλη επίδραση στην απόδοση της ταινίας. Ωστόσο, ανάλογα με τον πραγματικό εξοπλισμό εφαρμογής, οι απαιτήσεις καθαρότητας για το υλικό στόχο είναι επίσης διαφορετικές. Για παράδειγμα, απαιτούνται στόχοι επίστρωσης υψηλής καθαρότητας σε ηλεκτρονικό εξοπλισμό υψηλής ακρίβειας.
2. Περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες
Μετά από μια σειρά στοχευόμενων διεργασιών, οι ακαθαρσίες στο στερεό στόχο και το οξυγόνο και οι υδρατμοί στους πόρους είναι οι κύριες πηγές ρύπανσης για τα εναποτιθέμενα φιλμ. Επειδή οι χρήσεις τους είναι διαφορετικές, οι στόχοι για διαφορετικές χρήσεις έχουν επίσης διαφορετικές απαιτήσεις για διαφορετικές περιεκτικότητες σε ακαθαρσίες. Για παράδειγμα, οι τρέχοντες στόχοι καθαρού αλουμινίου και κράματος αλουμινίου που χρησιμοποιούνται στους ημιαγωγούς έχουν ειδικές απαιτήσεις για την περιεκτικότητα σε αλκαλικά μέταλλα και την περιεκτικότητα σε ραδιενεργά στοιχεία.
3.Πυκνότητα
Στη διαδικασία της τεχνολογίας στόχου, προκειμένου να μειωθούν οι πόροι στο στερεό στόχο και να βελτιωθεί η απόδοση του διασκορπισμένου φιλμ, απαιτείται γενικά το υλικό-στόχος να έχει μεγαλύτερη πυκνότητα. Επειδή η κύρια χαρακτηριστική πυκνότητα του στόχου έχει μεγάλη επίδραση στον ρυθμό εκτόξευσης και επηρεάζει τις ηλεκτρικές και οπτικές ιδιότητες του φιλμ. Όσο μεγαλύτερη είναι η πυκνότητα στόχου, τόσο καλύτερη είναι η απόδοση του φιλμ.
4. Μέγεθος κόκκου και κατανομή μεγέθους κόκκου
Συνήθως το υλικό-στόχος έχει πολυκρυσταλλική δομή και το μέγεθος των κόκκων μπορεί να κυμαίνεται από μικρά έως χιλιοστά. Για το ίδιο υλικό στόχο, ο ρυθμός εκτόξευσης ενός στόχου με λεπτούς κόκκους είναι ταχύτερος από εκείνον ενός στόχου με χονδρούς κόκκους. ενώ ένας στόχος με μικρότερη διαφορά μεγέθους κόκκων (ομοιόμορφη κατανομή) θα έχει πιο ομοιόμορφη κατανομή πάχους του φιλμ που εναποτίθεται με ψεκασμό.
