Ο στόχος διασκορπισμού αναφέρεται σε μια πηγή διασκορπισμού που διασκορπίζεται και εναποτίθεται σε ένα υπόστρωμα υπό κατάλληλες συνθήκες διεργασίας με ψεκασμό με μαγνήτρο, επιμετάλλωση ιόντων πολλαπλών τόξων ή άλλους τύπους εξοπλισμού επίστρωσης για να σχηματιστούν διάφορα λειτουργικά φιλμ. Σύμφωνα με τη σύνθεση, οι στόχοι μπορούν να χωριστούν σε στόχους καθαρού μετάλλου, στόχους από κράμα, στόχους οξειδίων, στόχους πυριτίου κ.λπ. ανάλογα με το σχήμα, μπορούν να χωριστούν σε επίπεδους στόχους (ορθογώνιους στόχους και στόχους τόξου) και σωληνοειδείς στόχους. . Οι σκεπτικοί στόχοι χρησιμοποιούνται ευρέως σε πολλούς τομείς όπως διακόσμηση, εργαλεία και καλούπια, γυαλί, ηλεκτρονικές συσκευές, ημιαγωγοί, μαγνητική εγγραφή, επίπεδες οθόνες, ηλιακά κύτταρα κ.λπ. Τα διαφορετικά πεδία απαιτούν διαφορετικά υλικά-στόχους.
1. Διακοσμητικό επίχρισμα
Η διακοσμητική επίστρωση αναφέρεται κυρίως στην επιφανειακή επίστρωση κινητών τηλεφώνων, ρολογιών, γυαλιών, ειδών υγιεινής, εξαρτημάτων υλικού και άλλων προϊόντων. Δεν παίζει μόνο ρόλο στην ομορφιά του χρώματος, αλλά έχει επίσης αντοχή στη φθορά, αντοχή στη διάβρωση και άλλες λειτουργίες. Οι κύριες ποικιλίες στόχων για διακοσμητική επίστρωση περιλαμβάνουν: στόχος χρωμίου, στόχος τιτανίου, στόχος ζιρκονίου, στόχος νικελίου, στόχος βολφραμίου, στόχος τιτανίου-αλουμινίου, στόχος από ανοξείδωτο χάλυβα κ.λπ.
2. Επικάλυψη καλουπιών ή εργαλείων επεξεργασίας
Χρησιμοποιείται κυρίως για την επιφανειακή ενίσχυση εργαλείων και καλουπιών, γεγονός που μπορεί να βελτιώσει σημαντικά τη διάρκεια ζωής των εργαλείων και των καλουπιών και την ποιότητα των επεξεργασμένων εξαρτημάτων. Τα τελευταία χρόνια, με γνώμονα την ανάπτυξη της αεροδιαστημικής και της αυτοκινητοβιομηχανίας, το τεχνικό επίπεδο και η παραγωγική αποδοτικότητα της παγκόσμιας μεταποιητικής βιομηχανίας έχουν σημειώσει μεγάλη πρόοδο και η ζήτηση για εργαλεία κοπής και καλούπια υψηλής απόδοσης αυξάνεται μέρα με τη μέρα. Οι κύριοι τύποι στόχων που χρησιμοποιούνται για την επικάλυψη καλουπιών περιλαμβάνουν: στόχους τιτανίου-αλουμινίου, στόχους χρωμίου, στόχους τιτανίου κ.λπ.
3. Επικάλυψη γυαλιού
Η εφαρμογή των υλικών-στόχων στο γυαλί είναι κυρίως για την παραγωγή επικαλυμμένου γυαλιού χαμηλής ακτινοβολίας, το οποίο χρησιμοποιεί την αρχή της διασκορπισμού μαγνητρόν για να διασκορπίσει πολλαπλά στρώματα λεπτών μεμβρανών στο γυαλί για να επιτύχει τις λειτουργίες εξοικονόμησης ενέργειας, ελέγχου φωτός και διακόσμησης. Οι κύριοι τύποι στόχων περιλαμβάνουν: ασημένιος στόχος, στόχος χρωμίου, στόχος τιτανίου, στόχος νικελίου-χρωμίου, στόχος πυριτίου-αλουμινίου, στόχος οξειδίου τιτανίου, κ.λπ. στόχοι, στόχοι αλουμινίου, στόχοι οξειδίου του τιτανίου, κ.λπ. Καθώς οι απαιτήσεις ποιότητας για καθρέφτες οπισθοπορείας αυτοκινήτων συνεχίζουν να αυξάνονται, πολλές εταιρείες έχουν αλλάξει από την αρχική διαδικασία επιμετάλλωσης αλουμινίου στη διαδικασία επιχρωμίωσης με ψεκασμό κενού.
4. Επίστρωση ηλεκτρονικής συσκευής
Οι επικαλύψεις ηλεκτρονικών συσκευών χρησιμοποιούνται κυρίως για αντιστάσεις λεπτής μεμβράνης και πυκνωτές λεπτής μεμβράνης. Τα υλικά-στόχοι για αντιστάσεις λεπτής μεμβράνης περιλαμβάνουν στόχο NiCr, στόχο νικελίου χρωμίου πυριτίου (NiCrSi), στόχο πυριτίου χρωμίου (CrSi), στόχο τανταλίου (Ta), στόχο νικελίου χρωμίου αλουμινίου (NiCrA1), κ.λπ.
5. Επίπεδη επίστρωση οθόνης
Η ταχεία αύξηση της ζήτησης για συσκευές επίπεδων οθονών από φορητούς προσωπικούς υπολογιστές, τηλεοράσεις, κινητά τηλέφωνα κ.λπ. έχει προωθήσει σε μεγάλο βαθμό την ανάπτυξη διαφόρων τύπων συσκευών επίπεδων οθονών. Οι τύποι του περιλαμβάνουν: συσκευή οθόνης υγρών κρυστάλλων (LCD), συσκευή προβολής πλάσματος (PDP) κ.λπ. Όλες αυτές οι συσκευές επίπεδων οθονών χρησιμοποιούν διάφορους τύπους φιλμ. Χωρίς την τεχνολογία λεπτής μεμβράνης, δεν θα υπήρχαν συσκευές επίπεδων οθονών. Προκειμένου να διασφαλιστεί η ομοιομορφία των επικαλύψεων μεγάλης επιφάνειας, να βελτιωθεί η παραγωγικότητα και να μειωθεί το κόστος, η τεχνολογία sputtering χρησιμοποιείται όλο και περισσότερο για την προετοιμασία αυτών των επικαλύψεων. Οι κύριοι τύποι στόχων που χρησιμοποιούνται για επίστρωση επίπεδης οθόνης περιλαμβάνουν: στόχους χρωμίου, στόχους μολυβδαινίου, στόχους από κράμα αλουμινίου, στόχους χαλκού κ.λπ.
6. Επίστρωση ημιαγωγών
Η ταχεία ανάπτυξη της πληροφορικής απαιτεί τα ολοκληρωμένα κυκλώματα να είναι ολοένα και πιο ολοκληρωμένα. Κάθε μονάδα μονάδας αποτελείται από ένα υπόστρωμα, ένα μονωτικό στρώμα, ένα διηλεκτρικό στρώμα, ένα στρώμα αγωγού και ένα στρώμα προστασίας. Μεταξύ αυτών, το διηλεκτρικό στρώμα, το στρώμα αγωγού και ακόμη και το προστατευτικό στρώμα Χρησιμοποιείται η διαδικασία επικάλυψης με ψεκασμό, επομένως ο στόχος διασκορπισμού είναι ένα από τα βασικά υλικά για την προετοιμασία ολοκληρωμένων κυκλωμάτων. Τα υλικά-στόχοι για επίστρωση ημιαγωγών απαιτούν υψηλή καθαρότητα στόχου, γενικά πάνω από 4Ν ή 5Ν. Οι κύριες ποικιλίες περιλαμβάνουν στόχους βολφραμίου-τιτανίου, στόχους τιτανίου, στόχους αλουμινίου και χάλκινους στόχους.
