1. Καθαρότητα
Η καθαρότητα του στόχου τιτανίου έχει μεγάλη επιρροή στις ιδιότητες των διασκορπισμένων μεμβρανών. Όσο υψηλότερη είναι η καθαρότητα του στόχου, τόσο λιγότερα σωματίδια στοιχείου ακαθαρσίας στο διασκορπισμένο φιλμ και τόσο καλύτερη είναι η απόδοση του φιλμ (όπως αντίσταση στη διάβρωση, οπτικές και ηλεκτρικές ιδιότητες). Σε πρακτικές εφαρμογές, οι απαιτήσεις καθαρότητας των στόχων τιτανίου για διαφορετικούς σκοπούς είναι διαφορετικές. . Για παράδειγμα, οι απαιτήσεις καθαρότητας των στόχων για γενικές διακοσμητικές επιστρώσεις δεν είναι απαιτητικές, ενώ οι στόχοι για ολοκληρωμένα κυκλώματα, σώματα οθόνης και άλλα πεδία έχουν πολύ υψηλότερες απαιτήσεις καθαρότητας, γενικά γύρω στο 99,999 τοις εκατό ή παραπάνω.
2. Μέσο μέγεθος κόκκου
Συνήθως ο στόχος τιτανίου έχει πολυκρυσταλλική δομή και το μέγεθος των κόκκων μπορεί να κυμαίνεται από μικρά έως χιλιοστά. Ο ρυθμός εκτόξευσης του στόχου μικρού μεγέθους κόκκου είναι ταχύτερος από αυτόν του χονδρόκοκκου στόχου. Η κατανομή πάχους της μεμβράνης που εναποτίθεται με ψεκασμό είναι επίσης σχετικά ομοιόμορφη. Το μέσο μέγεθος κόκκου των στόχων τιτανίου για ολοκληρωμένα κυκλώματα απαιτείται γενικά να είναι εντός 30 μm και το μέσο μέγεθος κόκκου των στόχων τιτανίου με εξαιρετικά λεπτούς κόκκους είναι κάτω από 10 μm.
3. Προσανατολισμός κρυστάλλου
Το τιτάνιο έχει μια κλειστή εξαγωνική δομή. Κατά τη διάρκεια της εκτόξευσης, τα άτομα στόχου τιτανίου διασκορπίζονται εύκολα κατά μήκος της κατεύθυνσης της εξαγωνικής διάταξης των ατόμων. Επομένως, για να επιτευχθεί ο υψηλότερος ρυθμός εκτόξευσης, είναι δυνατό να αυξηθεί ο ρυθμός εκτόξευσης αλλάζοντας την κρυσταλλική δομή του στόχου. ρυθμός ψεκασμού. Η κατεύθυνση κρυστάλλωσης του στόχου τιτανίου έχει επίσης μεγάλη επίδραση στην ομοιομορφία του πάχους του στρώματος διασκορπισμένης μεμβράνης και το μέγεθος του φιλμ της επίπεδης οθόνης και της διακοσμητικής επικάλυψης είναι σχετικά παχύ, επομένως οι απαιτήσεις για τον προσανατολισμό των κόκκων του αντίστοιχου στόχου τιτανίου είναι σχετικά χαμηλό.
4. Γεωμετρία και μέγεθος
Αντικατοπτρίζεται κυρίως στην ακρίβεια επεξεργασίας και στην ποιότητα επεξεργασίας, όπως το μέγεθος επεξεργασίας, η επιπεδότητα της επιφάνειας, η τραχύτητα κ.λπ. Το μικρό πάχος θα επηρεάσει τη διάρκεια ζωής του στόχου. Η πολύ τραχιά επιφάνεια στεγανοποίησης και η αυλάκωση στεγανοποίησης θα προκαλέσουν προβλήματα υποπίεσης μετά την εγκατάσταση του στόχου. Η τραχύτητα της επιφάνειας εκτόξευσης του στόχου μπορεί να κάνει την επιφάνεια του στόχου γεμάτη με προεξέχοντα άκρα, υπό τη δράση του φαινομένου αιχμής, η δυνατότητα αυτών των ανυψωμένων άκρων θα αυξηθεί σημαντικά, διασπώντας έτσι τη διηλεκτρική εκκένωση. Ωστόσο, μια υπερβολικά μεγάλη προεξοχή είναι επιζήμια για την ποιότητα και τη σταθερότητα του ψεκασμού.
Η εταιρεία μας μπορεί να παρέχει κράματα τιτανίου όπως π.χΣτόχοι Sputter Titanium AluminiumκαιTitanium Ti Sputtering Target, καθώς και στόχους τιτανίου διαφορετικής καθαρότητας και σχήματος, και δέχονται επίσης προσαρμοσμένες υπηρεσίες. Εάν είναι απαραίτητο, επικοινωνήστε μαζί μας μέσω email.
